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中圖儀器VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)成像系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000共聚焦成像檢測系統(tǒng)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000共聚焦超景深三維顯微鏡幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全。測量與分析同界面操作，無需切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實現(xiàn)了快速批量測量的功能。

中圖儀器共聚焦掃描顯微鏡在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000自動三維共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和優(yōu)異的3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。