人人做人人添人人爱-免费在线一二三线自慰-小仙女自慰极品麻豆-成人全视频在线观看

您好!歡迎訪問深圳市中圖儀器股份有限公司網(wǎng)站!
全國服務(wù)咨詢熱線:

18928463988

Case合作案例
首頁 > 合作案例 > SJ6000激光干涉儀檢測光刻機(jī)

SJ6000激光干涉儀檢測光刻機(jī)

發(fā)布時(shí)間:2021/4/9 10:03:38

光刻機(jī)是集成電路生產(chǎn)的最關(guān)鍵的設(shè)備之一,在整個(gè)生產(chǎn)過程中占據(jù)重要的地位。高精度的工作臺(tái)作為光刻機(jī)核心部件之一,運(yùn)動(dòng)性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現(xiàn)的線寬和產(chǎn)率。

光刻機(jī)的工作臺(tái)是一個(gè)六自由度的運(yùn)動(dòng)臺(tái),其中X/Y向運(yùn)動(dòng)臺(tái)是最核心的基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度YawPitch,直線度Horizontal StraightnessVertical Straightness是獲得XY線性(重復(fù))精度(Linear Positioning)的關(guān)鍵,是后續(xù)實(shí)現(xiàn)六自由度的控制的基石,是多層曝光對(duì)準(zhǔn)精度的源頭。

本次檢測一臺(tái)光刻機(jī)XY軸的角擺和直線度,部分結(jié)果如下:

 

YVertical Straightness測量

XPitch測量

X軸測量軸長225mm,其中垂直直線度測得結(jié)果0.58μm。 

Y軸測量軸長600mm,測得角度Yaw結(jié)果0.86″。

 

  • 上一篇:沒有了
  • 下一篇:沒有了
版權(quán)所有 © 2024 深圳市中圖儀器股份有限公司 All Rights Reserved    備案號(hào):粵ICP備12000520號(hào)    sitemap.xml    管理登陸    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)
贵阳市| 墨竹工卡县| 远安县| 福安市| 桃源县| 长泰县| 岳阳县| 邢台市| 崇州市| 凌海市| 中宁县| 罗江县| 偃师市| 朝阳区| 玉屏| 中阳县| 乐清市| 连城县| 大连市| 牡丹江市| 贵港市| 巴南区| 江门市| 云安县| 延川县| 南澳县| 吉安县| 城市| 宜章县| 博客| 衡东县| 塔城市| 西乌珠穆沁旗| 蓬溪县| 商城县| 永宁县| 加查县| 达孜县| 云浮市| 保山市| 崇仁县|