光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

　　光學(xué)輪廓儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車(chē)制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過(guò)儀器的觸針與被測(cè)表面的滑移進(jìn)行測(cè)量的，是接觸測(cè)量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測(cè)量某些難以測(cè)量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀，且測(cè)量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測(cè)表面容易被觸針劃傷，為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測(cè)量壓力。

　　光學(xué)輪廓儀的產(chǎn)品功能：

　　1、具備各種類(lèi)型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；

　　2、具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；

　　3、具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

　　4、具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

　　5、具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；

　　6、具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

　　7、具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

　　應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說(shuō)只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。