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光學(xué)表面輪廓儀

簡要描述:SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測量品質(zhì)。

  • 更新時間:2024-05-11
  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1600

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,建材,電子,綜合

中圖儀器推出的SuperViewW1系列光學(xué)表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測量品質(zhì)。W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機(jī)型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心省力。


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產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


產(chǎn)品型號:SuperView W1-Pro

影像系統(tǒng):1024×1024

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY位移平臺:尺寸300×300mm,行程200×200mm,電動

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀,但橫向測試范圍,縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中,3D AOI(自動光學(xué)檢測)是對傳統(tǒng)精密加工上的升級,彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開光學(xué)光學(xué)表面輪廓儀格實(shí)惠不說,基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1系列能以非接觸的方式,無損檢測精密機(jī)械加工表面,檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示,直觀地展示了表面紋理特征。





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