中圖儀器光學(xué)輪廓儀SuperViewW1囊括粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

雙重防撞保護(hù)措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

ZSTOP，顧名思義，就是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動到該位置時，就立刻停止不再向下運(yùn)動，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。