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中圖光學3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

中圖儀器SuperViewW1輪廓尺寸測量儀器設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperVieW3D表面粗糙度輪廓檢測儀基于白光干涉原理，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW白光表面3d輪廓儀的光學系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維光學輪廓儀基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，能以3D非接觸方式對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。