SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
中圖白光干涉儀設(shè)備具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),通過一個按鍵開關(guān),可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式。廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。
SuperViewW3大尺寸白光干涉三維形貌儀具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能,其中表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。
SuperViewW1立式非接觸白光干涉儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計,既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動,同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
中圖儀器國內(nèi)白光干涉儀的重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。測件尺寸可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸。
微信掃一掃